在加速度傳感器中有一種是三軸加速度傳感器，同樣的它是基于加速度的基本原理去實現(xiàn)工作的，加速度是個空間矢量，一方面，要準確了解物體的運動狀態(tài)，必須測得其三個坐標軸上的分量；另一方面，在預先不知道物體運動方向的場合下，只有應用三軸加速度傳感器來檢測加速度信號。由于三軸加速度傳感器也是基于重力原理的，因此用三軸加速度傳感器可以實現(xiàn)雙軸正負90度或雙軸0-360度的傾角，通過校正后期精度要高于雙軸加速度傳感器大于測量角度為60度的情況。
目前的三軸高靈敏度加速度傳感器大多采用壓阻式、壓電式和電容式工作原理，產(chǎn)生的加速度正比于電阻、電壓和電容的變化，通過相應的放大和濾波電路進行采集。這個和普通的加速度傳感器是基于同樣的原理，所以在一定的技術上三個單軸就可以變成一個三軸。對于多數(shù)的傳感器應用來看，兩軸的加速度傳感器已經(jīng)能滿足多數(shù)應用。但是有些方面的應用還是集中在三軸加速度傳感器中例如在數(shù)采設備，貴重資產(chǎn)監(jiān)測，碰撞監(jiān)測，測量建筑物振動,風機,風力渦輪機和其他敏感的大型結構振動。
三軸高靈敏度加速度傳感器的好處就是在預先不知道物體運動方向的場合下，只有應用三維加速度傳感器來檢測加速度信號。三維加速度傳感器具有體積小和重量輕特點，可以測量空間加速度，能夠全面準確反映物體的運動性質。
高靈敏度加速度傳感器具有優(yōu)良的穩(wěn)定性，可靠性和抗干能力。普通加速度傳感器通常需要在標準振動臺上進行標定，給使用帶來不便。高靈敏度加速度傳感器采用先進的微電子加工技術和電容式測量原理，可獲得優(yōu)良的低頻響應，通過重力加速度g就可對傳感器進行標準，且內置自檢系統(tǒng)。
1、設備振動測量：高靈敏度系列集成加速度傳感器廣泛應用于各行業(yè)設備運行狀態(tài)監(jiān)測。設備運行時的振動量是估量設備運行是否正常的重要指標。該傳感器可以測量從直流到2kHz的振動量，輸出信號經(jīng)濾波、檢波，對設備的振動大小給出精確直觀的指示。
2、沖擊測量：大量應用于汽車安全氣囊和安全帶系統(tǒng)中。撞車時，傳感器受到?jīng)_擊，能在1 ms內輸出一個幅度比例于沖擊加速度的脈沖信號，當沖擊加速度達到一定值時，該信號將使安全氣囊爆發(fā)或使安全帶鎖緊，以保護乘車人的生命。
3、傾斜角測量:當傳感器傾斜放置時，傳感器的輸出為重力加速度在傳感器測量軸上的分量，即輸出與傾斜角存在反正弦的函數(shù)關系。當傾斜角較小時，近似為線性關系。
高靈敏度系列集成加速度傳感器基于電容式測量原理測量加速度，其輸出電信號與測量加速度成正比例，高靈敏度系列集成加速度傳感器原理框圖如下：
